半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模的淬火

半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模在淬火后產(chǎn)生裂紋是半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模熱處理過程中的{zd0}缺陷，將使加工好的半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模報(bào)廢，使生產(chǎn)和經(jīng)濟(jì)造成很大損失。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模材料存在嚴(yán)重的網(wǎng)狀碳化物偏析。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模中存在有機(jī)械加工或冷塑變形應(yīng)力。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模熱處理操作不當(dāng)(加熱或冷卻過快、淬火冷卻介質(zhì)選擇不當(dāng)、冷卻溫度過低、冷卻時(shí)間過長等)。

半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模形狀復(fù)雜、厚薄不均、帶尖角和螺紋孔等，使熱應(yīng)力和組織應(yīng)力過大。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模淬火加熱溫度過產(chǎn)生過熱或過燒。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模淬火后回火不及時(shí)或回火保溫時(shí)間不足。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模返修淬火加熱時(shí)，未經(jīng)中間退火而再次加熱淬火。

半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模熱處理的，磨削工藝不當(dāng)。半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模熱處理后火花加工時(shí)，硬化層中存在有的拉伸應(yīng)力和顯裂紋。嚴(yán)格控制半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模原材料的內(nèi)在質(zhì)量改進(jìn)鍛造和球化退火工藝，**網(wǎng)狀、帶狀、鏈狀碳化物，改善球化組織的均勻。、

在機(jī)械加工后或冷塑變形后的半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模應(yīng)進(jìn)行去應(yīng)力退火(>600℃)后再進(jìn)行加熱淬火。形狀復(fù)雜的半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模應(yīng)采用石棉堵塞螺紋孔，扎危險(xiǎn)截面和薄壁處，并采用分級(jí)淬火或等溫淬火。返修或翻半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模時(shí)需進(jìn)行退火或溫回火。

半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模在淬火加熱時(shí)應(yīng)采取預(yù)熱，冷卻時(shí)采取預(yù)冷措施，并選擇合適淬火介質(zhì)。應(yīng)嚴(yán)格控制淬火加熱溫度和時(shí)間，防止半導(dǎo)體燒結(jié)石墨模具模過熱和過燒。